1. 2000℃伺服控制真空熱壓爐設備用途

本設備主要供大專院校、科研單位等針對金屬化合物、陶瓷、無機化合物、納米材料等在真空或保護氣氛的條件下進行加壓加熱燒結處理，以便獲得高致密度的產品，例如生產高精度氮化硅陶瓷軸承等。

2. 2000℃伺服控制真空熱壓爐方案圖

3. 主要技術參數

3.1 電源：三相 380V 50Hz

3.2 額定功率：15Kw

3.3 最高工作溫度：1800℃

3.4 工作區尺寸：80*80（D*H，mm）

3.5 控溫區數：一區

3.6 控溫方式：鎢錸熱電偶

3.7 控溫精度：±1℃

3.8 冷態極限真空度：6.67*10-3Pa（空爐、冷態、烘烤除氣后）

3.9 壓升率：4Pa/h

3.10 充氣氣氛：惰性氣體

3.11 充氣壓力（微正壓）：≤0.03MPa

3.12 最大壓力：5T（數顯、自動調壓、自動保壓、伺服電動缸）

3.13 壓頭直徑：Ф40 mm

3.14 壓力波動：≤±1%，位移精度≥0.01mm

3.15 壓力行程：0～80mm（數顯）

3.16 壓力控制：伺服電動控制（5kw伺服電機控制）

結構及功能說明

5.1 爐門

爐蓋采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層封頭結構，與法蘭組焊成一個整體。其中內壁精密拋光，外壁拉絲處理。爐門上設有冷卻水進出接口、觀察窗，爐門鎖緊裝置等。門鎖緊采用手輪壓緊的方式，可保證設備在微正壓下工作。

5.2 爐體

爐體采用雙層不銹鋼（SUS304）水冷架構，爐體上下分別組焊有上下壓頭安裝座。正面法蘭平面上開設有燕尾型密封槽，采用O型硅橡膠密封圈密封。爐內壁精密拋光，外壁拉絲處理。爐體側面設有冷卻水進出口、觀察窗口、真空抽氣口、熱電偶安裝口，電極安裝座等。

5.4 龍門架

龍門架由上、下橫梁、雙立柱、箱體等組成，作為上下壓頭支座及爐體支撐。

5.5 加熱及隔熱系統

加熱采用進口高純石墨板作發熱體，純度高，無揮發，有效保證爐腔內的清潔度。隔熱材料采用石墨成型纖維軟氈，保溫效果好，耐沖擊性好。整個隔熱屏采用金屬框架固定，便于安裝與維護。

溫度控制采用一支鎢套管鎢錸熱電偶，同時，在隔熱屏外設置一支監控熱電偶，監控隔熱屏外溫度，提高設備的安全使用性能。

5.7 真空系統

真空系統采用二級泵配置，由一臺K-150擴散泵，一臺VRD-30直連泵、高真空擋板閥、充氣閥、放氣閥、真空壓力表、真空測量規管等組成，真空管道與泵的聯接采用金屬波紋管減緩震動，真空度的測量由成都睿寶數顯復合真空計執行。

5.8 伺服電動加壓系統

加壓方式采用最新的伺服電動加壓方式，采用進口伺服電動加壓系統（伺服電動缸），由伺服電機、減速機，電動壓力缸，精密壓力傳感器、器件組成，通過觸摸屏設定壓力，自動調節壓力，并能實現穩壓、保壓壓力曲線可實時顯示。伺服電機自帶編碼器，位移可精確控制并顯示.壓力工藝可儲存，可調用、可編輯。